【半導体結晶欠陥評価解析技術】

半導体を材料とする各種光デバイスは半導体中の不純物や欠陥を人工的に制御す ることにより作製しています. つまり半導体結晶中の不純物や欠陥のコントロールが精密にできればできるほど, より高性能の素子を作成することが可能となります. しかし現状の半導体研究は欠陥や不純物の正確なデータが不足しているために, 熱エネルギーによる治金学的な制御法が実用に用いられています. 研究室では化合物半導体結晶の不純物, 欠陥を電子や光で制御することを 目的に, 以下の研究を進めています.
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欠陥研究者:足立真寛のページ 著者の発表論文、関連研究、欠陥評価技術の理論などを掲載。